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每经记者｜朱成祥 每经编辑｜杨夏 5月27日，半导体设备龙头中微公司（688012.SH，股价170.93元，市值1068.31亿元）于上海临港召开了2024年度及2025年第一季度业绩说明会，并于会后召开了媒体见面会。 《每日经济新闻》记者观察到，中微公司2024年LPCVD（低压化学气相沉积）设备实现首台销售。在研项目中，也有PECVD（等离子化学气相沉积）和ALD（原子层沉积）设备研发。一直以来，中微公司主营业务以等离子体刻蚀机为代表，薄膜设备也主要以泛半导体的MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备为主。 关于中微公司薄膜沉积设备业务的成长性，中微公司董事长尹志尧对《每日经济新闻》记者表示：“目前，薄膜设备相关的收入体量还不大，但是公司已经在全面布局并加速开发更多产品。我相信三到五年内，薄膜设备收入将快速增长。” 
图片来源：中微公司供图 |
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